CGM-2F混氣系統(tǒng)2路浮子是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機(jī),小型PECVD系統(tǒng)等。
產(chǎn)品分類
CGM-2F混氣系統(tǒng)2路浮子
產(chǎn)品概述:
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機(jī),小型PECVD系統(tǒng)等。
浮子流量計:兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
混氣罐:內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣
機(jī)械壓力表(混氣罐):-0.1-0.15 MPa
關(guān)鍵和閥門:
·采用ss304不銹鋼
·三管件接口直徑為1/4”(接管可選聚四氟或不銹鋼)
外形尺寸:340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
可選:
·CVD或者PECVD
·液相氣體發(fā)生器
·1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-S50-2F
·Plasma等離子清洗
凈重:約10 Kg
CGM-2F混氣系統(tǒng)2路浮子
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